2月17日，在山东联盛电子半导体湿制程装备制造项目现场，工作人员正在无尘车间生产。该项目致力于半导体高端湿制程设备的研发、生产与销售，是山东省最大的硅片清洗机制造企业。项目全部投产后，可年产300套湿法清洗设备，年可实现销售收入2.5亿元。 近年来，我市建立了由14个部门组成的产业链工作专班，深入开展产业链巡链诊链融链固链、招商引资等活动，为制造业企业提供全方位服务，全力助推装备制造业高质量发展。■ 本报记者 田柏林